其他密封


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华尔卡产品编号
FB4060
产品名称
FLID BONDED GATE SEAL
形状
Bonded Seal
Bonded Seal
特点1
开关门用密封
特点2
稳定的安装性
特点3
不脱落、不弯曲
在库状况
订单生产品

规格尺寸
 
类型
压缩挤压

用途区分
开关门用
压力区分
真空
标准材质

标准外材质(可适应材料)

非标准材料依据材料选择基准

密封方向
平面 圆筒 圆筒活塞 圆筒棒
× × ×
尺寸
依据使用条件

■ 产品内容和主要用途

产品内容
烧结于Transfer Gate金属上,一体成形的门密封板。
主要用途
用于解决带O形圈型闸阀密封机构在半导体制造装置中使用时产生的O形圈密封材质的扭曲、断裂、发尘、脱落等问题。专用于路径装置腔室等的惰性气体环境。

■ 使用温度范围

橡胶材料 使用温度范围
FLID -5℃ ~ 200℃

可使用温度依据材料选择基准。

■ 使用压力·压力方向·压力种类

压力 压力(附挡圈) 压力方向
- - 两压
-

压力种类
冲击·过冲·脉冲·真空
真空

■ 适用运动以及冲程

固定用 ×
往复 ×
旋转 ×
螺旋状 ×
开闭
滑动 ×
摇动 ×
冲动
依据使用条件

■ 流体·速度·PV值

液体
气体
粉体 ×
一般粉尘 ×
油膜 ×
速度
依据使用条件
PV值
依据使用条件

■ 润滑·安装性·抗滑动、抗压缩·偏离/倾斜、追随性

润滑
不要
安装性
抗滑动
抗压缩
偏离/倾斜
追随性
低~中


■ 截面尺寸·设计注意点

・截面尺寸


依据使用条件

・设计注意点

必须要压缩力以及紧固时对象面的游隙尺寸的设定值

■ 不适宜事例·对策

■ FAQ


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