Oリング
- バルカー製品番号
- VPHS4640
- 製品名
- フローリッツHS
- 形状
- O-RING(高機能エラストマー)
- 特長1
- 万能
- 特長2
- 方向性が無い
- 在庫状況
- 製作可能品
- 規格寸法
- ・JIS B 2401
・AS 568
- タイプ
- スクイーズ
- 用途区分
- 兼用
- 圧力区分
- 真空
- 標準材質
-
無し
- 標準外材質(適応可能材料)
-
標準外材料は材料選定基準による
- シール方向
-
平面 |
円筒 |
円筒ピストン |
円筒ロッド |
○ |
○ |
△ |
△ |
- サイズ
- 全て
■ 製品内容と主な用途
- 製品内容
- パーフロロエラストマーであるフローリッツHSを断面O形のリングに成形した濃褐色の半導体製造装置における熱拡散工程専用の製品。フローリッツシリーズで最高の耐熱性を有し、耐ラジカル性、純粋性、低歪特性にも優れています。
- 主な用途
- 半導体製造の熱拡散装置内での耐熱性が要求される箇所に使用します。
■ 使用温度範囲
ゴム材料 |
使用温度範囲 |
フローリッツHS |
0℃ ~ 300℃ |
使用可能温度は材料選定基準による
■ 使用圧力・圧力方向・圧力種類
圧力 |
圧力(バックアップリング付) |
圧力方向 |
- |
- |
両圧 |
- |
■ 適用する運動およびストローク
往復 |
△ |
回転 |
△ |
ヘリカル |
△ |
開閉 |
○ |
スライド |
△ |
揺動 |
△ |
■ 流体・速度・PV値
液体 |
○ |
気体 |
○ |
粉体 |
× |
一般ダスト |
× |
油膜 |
× |
材料選定基準による
■ 潤滑・装着性・摺動抵抗、圧縮抵抗・偏芯/傾き、追随性
■ 断面寸法・設計注意点
■ 不具合事例・対策
■ FAQ
■ バルカーハンドブック技術編