Oリング

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バルカー製品番号
VPT4640
製品名
フローリッツT20
形状
O-RING(高機能エラストマー)
O-RING(高機能エラストマー)
特長1
万能
特長2
方向性が無い
在庫状況
製作可能品

規格寸法
・JIS B 2401
・AS 568
タイプ
スクイーズ

用途区分
兼用
圧力区分
真空
標準材質

無し

標準外材質(適応可能材料)

標準外材料は材料選定基準による

シール方向
平面 円筒 円筒ピストン 円筒ロッド
サイズ
全て

■ 製品内容と主な用途

製品内容
パーフロロエラストマーであるフローリッツT20を断面O形のリングに成形した黒色製品。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性、動的部位でのシール性にも優れています。
主な用途
半導体・液晶関連機器のドライエッチング・アッシング装置内、CVD装置内の高い耐ラジカル性が要求されるゲート部位に使用します。

■ 使用温度範囲

ゴム材料 使用温度範囲
フローリッツT20 0℃ ~ 260℃

使用可能温度は材料選定基準による

■ 使用圧力・圧力方向・圧力種類

圧力 圧力(バックアップリング付) 圧力方向
- - 両圧
-

圧力の種類
衝撃・サージ・パルス・真空
全て可能

■ 適用する運動およびストローク

固定用
往復
回転
ヘリカル
開閉
スライド
揺動
ストローク
使用条件による

■ 流体・速度・PV値

液体
気体
粉体 ×
一般ダスト ×
油膜 ×
速度
使用条件による
PV値
使用条件による

材料選定基準による

■ 潤滑・装着性・摺動抵抗、圧縮抵抗・偏芯/傾き、追随性

潤滑
-
装着性
摺動抵抗
圧縮抵抗
偏芯/傾き
追随性


■ 断面寸法・設計注意点

・断面寸法

Φ1.0以上


・設計注意点

■ 不具合事例・対策

■ FAQ

■ バルカーハンドブック技術編


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