(3)“トライパック”バネ入りメタルCリングガスケット(No.3645、3645LS)
コイルスプリングを弾性要素とし、これをアルミニウム等の薄い金属板で被覆した金属Cリングである。弾力性があり復元量も大きく、低い締付力でシールができるので、ゴムのOリングが使用できない温度の高い超高真空分野や極低温ならびに高圧の分野に使用できる。
低締付トライパックLS(バルカーNo.3645LS)は、低い締付荷重でも所定の気密性が得られるように、従来のトライパックの上下シール面にV溝加工を施し、シール面とのなじみ性を改善したガスケットである。
(a)特 長
①なじみ性がよく、密封性能がすぐれている。
②復元時の密封性能にもすぐれている。
③メタル中空Oリングと同等、もしくはそれ以下の締付力での使用が可能である。
④ベーキング温度が高く、ゴムOリングが用いられない真空ラインでの使用が可能である。
⑤金属ガスケットのため、放射線による劣化や放出ガスの影響がほとんどない。
⑥極低温から高温までの幅広い温度領域に適用が可能である。
⑦誘導放射線、低温、放出ガス等に対応するためにラインをアルミ化する場合、最適のシールを提供する。しかも、フランジ面にはガスケット締め付けによる圧痕を残さない。
⑧特殊形状のものも製作可能である。
(b)構成金属材料
外被 | アルミニウム、ステンレス鋼、ニッケル、銀、銅、タンタル |
内被 | インコネル、ステンレス鋼 |
コイルスプリング | インコネル、ステンレス鋼 |
(c)設計資料
断面径 mm | 内 径 mm | 溝深さ mm | 必要締付力 N/mm{kgf/cm} | |||
アルミニウム | 銀・銅 | ニッケル・ タンタル | ステンレス | |||
1.7 | 5~50 | 1.4 | 200 | 220 | 250 | 290 |
2.6 | 10~100 | 2.1 | 220 | 250 | 340 | 400 |
3.8 | 25~1500 | 3.0 | 250 | 310 | 490 | 590 |
5.6 | 150~2000 | 4.5 | 320 | 390 | 640 | 780 |
8 | 175以上 | 7.0 | 340 | 490 | - | - |
10 | 175以上 | 9.0 | 390 | 590 | - | - |
フランジ表面粗さ(Ra) | 0.8 | 0.4 | 0.2 | 0.2 |
【備 考】
断面径6.1mmなど任意寸法も製作可能、別途相談のこと。
(d)使用可能範囲
温 度(1) | -270~250℃ |
圧 力 | 超高真空~7MPa |
※注(1)温度範囲はアルミニウムの場合であり、構成材料により異なる。
(e)用 途
半導体関連、原子力関係、電子工業、レーザー装置、継手、バルブ、および射出成形機等に使用されている。
(f)関連特許
コイルスプリングの溶接方法(特許)
アルミニウムとステンレス鋼等の二重被覆方法(実願)
トライパック用脱落防止リング(実願)
リテーナー組込シール構造(特許)
(g)性能
・許容漏洩量…He 1×10-11Pa・m3/s
・気密開始点…S0 78kN/m
・気密限界点…S1 44kN/m
・復 元 量…0.2mm以下(※S0、S1および復元量は、1×10-11Pa・m3/s(He)時点)
(イ)シール性能におよぼすフランジ表面粗さの影響
材料:外被 A1050表面粗さ | 気密開始点 S0(1)kN/m | 気密限界点 S1(1)kN/m |
0.8S | 80~100 | 30~50 |
3.2S | 70~90 | 30~50 |
6.3S | 80~120 | 30~50 |
12.5S | 100~140 | 30~50 |
(参考)ステッキ仕上げ6.3S | 100~160 | 30~50 |
※注(1)S0、S1は、1×10-11Pa・m3/s時点
(ロ)高圧シール性能
試料寸法:断面3.8mm、内径71mm(呼び番号V-70)
(h)製作範囲・溝設計基準
断面径 d |
製作範囲 D |
溝深さ t ±0.1 |
真空用溝内径 G1 +0.6 0 |
内圧用溝外径 (参考) G2 +0.6 0 |
溝幅 (最小) |
1.7 | 5~ 50 | 1.4 | D-0.8 | D+2d+0.5 | 2.3 |
2.6 | 10~ 100 | 2.1 | 3.4 | ||
3.8 | 25~1500 | 3.0 | D-1.0 | D+2d+1.0 | 5.0 |
5.6 | 150~2000 | 4.5 | 8.0 | ||
8.0 | 175以上 | 7.0 | 12.0 | ||
10.0 | 175以上 | 9.0 | D-2.0 | 15.0 |
【備 考】
1.断面径6.1mm等任意寸法も製作可能、別途相談のこと。
2.D:トライパックの内径
3.断面径3.8、5.6のトライパックは、JIS B 2290真空装置用フランジに準じた溝寸法に適用できる。
4.この表は外径開放品についてのものであり、内径開放品については、別途相談のこと。
5.溝形フランジ(下図a)のステッキ加工に問題のある場合は、はめ込み形フランジ(下図b)とするか、平フランジ(下図c)に溝深さと同じ厚さのリテーナーを併用すること。
(i)メタル中空Oリングの代替として用いる場合
下記の断面径のものを使用のこと。ただし、別途問い合わせのこと。
メタル中空Oリングの呼び管径 トライパックの断面形 |
2.4 → 2.8 |
3.2 → 3.5 |
(j)特殊品
(イ)異形(平面形状が四角形、だ円、トラック形状等)のもの
ただし、曲率半径は下記の制限がある。
断面径 | 曲率半径(最小) |
2.6 | 15 |
3.8 | 20 |
5.6 | 30 |
(ロ)断面径
3.3mm、3.5mm、4.6mm、6.4mm、8mm等も製作可能である。
(ハ)異材質のもの
アルミニウム以外の被覆材料(銀、銅、モネル、ニッケル、ステンレス鋼等)および インコネルのコイルスプリング等でも製作できるが、平均締付力等が多少変わるので、 問い合わせのこと。