（ｂ）高純度ゴム焼付け一体化ゲートシール 「VALQUA BONDED GATE SEAL（バルカーボンデッドゲートシール）」

（イ）概　要
VALQUA ARMORの１グレードである耐プラズマ性高純度ふっ素ゴム(ULTIC ARMOR)および耐摩耗性高純度ふっ素ゴム（FLID）を、トランスファーゲート金属に焼付け一体成形したゲートシールプレートで、従来のOリングを使用することにより発生していたシール材のねじれ、破断、装着溝からの脱落現象を改善し、パーティクル発生量
を究極に低減することを目的に開発された製品である。
現在までに、
・ULTIC ARMOR BONDED GATE SEAL（アルティックアーマーボンデッドゲートシール）
・FLID BONDED GATE SEAL（フリッドボンデッドゲートシール）
が製品化されており、その特性を表1．2．25‐2に示す。

表1．2．26‐2　高純度ゴム焼付け一体化ゲートシール
　　　　　　　「VALQUA BONDED GATE SEAL（バルカーボンデッドゲートシール）」

シール材質	シール材色	主用途	特長
アルティックアーマー ULTIC ARMOR	琥珀透明	CVD	・高純度 ・パーティクルフリー ・ゲートプレート金属とチャンバー金属の接触防止 ・シール材の腐蝕流体に対する曝露面積低減
フリッド FLID	黒	PVD、ロードロック	・耐摩耗性 ・ゲートプレート金属とチャンバー金属の接触防止 ・シール材の腐蝕流体に対する曝露面積低減