（２）産業分野別用途例

産業分野 主   な   用   途   例
半導体 極高真空用駆動部シール   超高真空弁   直線・回転導入機器
シリンダ   ポンプ   単結晶引上げ装置   CVD装置
エッチング装置   蒸着装置   洗浄装置   各種分析装置
真   空 超高真空弁   真空弁   駆動部シール   直線・回転導入機器
真空継手   試料移送機器   マニピュレータ   振動吸収継手
加速器・核融合 超高真空弁   直線・回転導入機器   機器間接続   ポンプ
RFコンタクト付継手   導波管   真空容器（ブースター間）
ショート盤昇降装置   中性子入射装置
宇宙・航空機 ジャイロ   アキュムレータ   ポンプ   ダンパー
アクチュエータ   機器間接続
エネルギー バルブ   油量調整機器   遮断器   伸縮継手   振動吸収
メカニカルシール   ダクト   圧力センサー   ダストカバー
化学プラント 伸縮継手   アキュムレータ   バルブ   熱膨張吸収継手
耐震用   メカニカルシール   振動吸収   ポンプ
アクチュエータ   シリンダ   圧力センサ
製   鉄 伸縮継手   振動吸収   ラジアントチューブ   ダクト
アキュムレータ   バルブ   アクチュエータ
車   輌 振動吸収   燃料噴射装置   アクチュエータ
アキュムレータ   ポンプ


   

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