(3)製品群と応用製品
(a)Vシリーズ
ダイナミックベローズを標準化し伸縮量10mmを1ブロック単位としたものである。
(イ)製作範囲および寿命
サイズ:内径φ8~内径φ210mm
材 質:SUS304(準標準SUS316L)
寿 命:下表による。
(ロ)特 長
・伸縮量が大きい。
・バネ定数が小さい。
・長寿命。
・粒界浸透漏洩がなく、超高真空に最適。
・厚板フランジ付きのため、取り扱いが容易。
・標準品のため低価格。
(ハ)主な用途
・各種真空・半導体製造装置
・真空バルブ
・マニピュレータ
・直線・回転導入機器
・真空継手
・アキュムレータ
・アクチュエータ
・ポンプ
・ダンパ
・シリンダ
・圧力センサ
(ニ)標準仕様
①Vシリーズ(基本型:Y 型エンドフィッティング付)
②コンフラットフランジ付ベローズ
③ JIS 真空フランジ付ベローズ
④クランプフランジ付ベローズ
標 準 仕 様 | ||
温 度 | 常 温 | |
圧 力 | 内 部 | 真 空 |
外部 | 大気圧 | |
材 質 | ベ ロ ー ズ | SUS304 |
そ の 他 | SUS304 | |
リ ー ク 量 | 1×10-9Pa・m3/sec以下 {1×10-8atm・cc/sec以下} |
|
寿 命 | 1×104回 |
(b)M シリーズ
ダイナミックベローズを独自の設計、製造技術により、ベローズに発生する応力分布 を改善し、疲労発生部分の応力を低下させた従来にない長寿命用ベローズを標準化し たものである。
(イ)製作範囲および寿命
サイズ:内径φ8~φ50
材 質:SUS316L
寿 命:下表による。
備 考 100%をこえて使用する場合、作動最小長さを基準に伸び側で設定のこと。
(ロ)特 長
・長寿命(SUS316L材で5×106回)。 ・バネ定数が小さい。
・コンパクト。 ・超高真空に最適。
・伸縮量が大きい。
(ハ)用 途
・真空 機器 超高真空弁、直線導入器、回転導入器、真空スイッチ、駆動部シール 等
・半 導 体 超高・極高真空 駆動部シール、ベローズポンプ、ベローズシリンダ、 CVD装置、エッチング装置等
・核融合加速器 ベローズポンプ、超高真空 駆動部シール、RFコンタクト付ベローズ等
・宇宙航空機 駆動部シール、アクチュエータ、ベローズポンプ、アキュムレータ等
(ニ)標準仕様
圧 力 | 内部真空 外部大気圧 |
温 度 | 常 温 |
材 質 | SUS316L |
寿 命 | 5×106回 |
リーク量 | 1×10-10Pa.m3/sec以下 |
(c)高圧用オメガ形ダイナミックベローズ
原子力発電プラントの配管系には多くのバルブが使用されているが、特に一次系配管 では放射能を帯びた高圧の冷却水が流れるため、完全無漏洩を目的としてすべて ベローズ弁が用いられている。
この弁に組み込まれるベローズは、弁の開閉に伴う変位と変動する圧力負荷を受ける。
従って、耐久性・耐圧性にすぐれ、かつ放射性流体を取り扱うための高い信頼性が要求 される。
特に圧力9.8MPa{100kgf/cm2}以上の条件で使用される高圧用バルブのシール用とし て薦める。
(イ)製作範囲および材質
サイズ:
呼 び | 内径(mm) | 外径(mm) | 適合するステム径(mm) |
HPB-024 | 24 | 52 | 22以下 |
HPB-030 | 30 | 58 | 28以下 |
材 質:インコネル718
(ロ)特 長
・耐圧性、耐変動圧力性を高めるために、内部に補強リングをセットした独特の形状 による外圧専用ベローズである。
・インコネル718を標準材料としているため、耐食性、耐熱性、耐久性にもすぐれている。
・圧力9.8MPa{100kgf/cm2}以上で使用される原子力用高圧バルブのステムシール用 として、数多くの実績がある。
(ハ)構 造
(d)異形・角形ダイナミックベローズ
異形・角形ダイナミックベローズは、ニーズに合わせた形状での製作が可能である。 主に、加速器・核融合装置には、各種の異形(レーストラック形・角形)ベローズが 使用されている。
(イ)特 長
①異形ダイナミックベローズ
・材質が任意に選べる。
・バネ定数が小さくできる。
・寿命が長い。
・山数に制限がない。
・超高真空性にすぐれている。
②角形ダイナミックベローズ
・バネ定数が小さい。
・伸縮量が大きい。
・耐真空性にすぐれている。
(ロ)構 造
(e)脈動吸収用アキュムレータ
バルカーアキュムレータは、ダイナミックベローズを用いているため耐熱性・耐薬品性・ 脈動吸収性にすぐれ、従来品の欠点を補った製品である。
(イ)製作範囲
取付フランジ:10A用~25A用(JIS規格外も対応可能)
圧 力:0.98MPa~3.92MPa(10kgf/cm2G~40kgf/cm2G)*
*高圧ガス保安法には準拠していない。
(ロ)特 長
・耐熱性、耐薬品性にすぐれている。
・脈動吸収性がよい。
・耐久性にすぐれている。
・施工が容易である。
(ハ)構 造