（３）特殊材質Oリング

（ａ）液晶・半導体製造装置用高純度ゴム
「VALQUA ARMOR（バルカーアーマー）」

（イ）概　要
液晶・半導体製造装置用シール材、特にドライプロセス装置用（ドライエッチング装置、CVD装置、アッシング装置）として開発された製品である。このVALQUA ARMORは真空用エラストマーシールに求められる特性（低ガス透過性、低ガス放出性、機械的特性、耐熱性、非粘着性）に加えて、ドライプロセス装置用シール材には摩耗やエッチングにより発生するパーティクルが少ないこと（パーティクル特性）、ウェハー表面への汚染につながる金属をシール材中に含まないこと（純粋性）が求められ、これらの機能を当社独自のゴム変性改質技術より付与したシール材である。
現在までに、

・ARMOR CRYSTAL	・FLID	・FLID ARMOR	・SPOQ ARMOR
・HYREC ARMOR	・ULTIC ARMOR	・LABE ARMOR

の7グレードが製品化されており、VALQUA ARMORの特性をグレード別に簡単にまとめたものを表1．2．26‐1に示す。

表1．2．26‐1　液晶・半導体製造装置用高純度ゴム「VALQUA ARMOR（バルカーアーマー）

製品名	ARMOR CRYSTAL	FLID	FLID ARMOR	SPOQ ARMOR	HYREC ARMOR	ULTIC ARMOR	LABE ARMOR
グレード＆色	パーティクル対策グレード （琥珀透明）	標準普及グレード（黒）	特殊耐摩擦グレード（黒）	石英非粘着グレード（白）	パーティクル対策グレード （濃琥珀透明）	パーティクル対策グレード （濃琥珀透明）	マイクロ波アッシャー用石英非粘着グレード（青）
硬さ （Shore A）	60/70	73	73	71	58	70	75
特長	卓越した純粋性 耐プラズマ性	純粋性 耐摩耗性	純粋性 低摩擦 耐摩耗性 非粘着性（耐金属）	純粋性 耐プラズマ性	卓越した純粋性 耐プラズマ性	卓越した純粋性 耐プラズマ性	耐酸素プラズマ性 非粘着性（対石英）
主用途	CVD装置 ドライエッチング装置 アッシング装置	搬送用ベルト	真空装置  ゲート部	CVD装置 ドライエッチング装置 アッシング装置	CVD装置 ドライエッチング装置 アッシング装置	CVD装置 ドライエッチング装置 アッシング装置	マイクロ波アッシング装置
推奨使用部位（例）	パーティクル発生が、特に問題となるプラズマ処理装置のシール材（2）	ウェハーへの汚染（接触痕、摩耗分等）をきらう搬送用ベルト	特に摩耗によるパーティクル発生が問題となる真空装置ゲート部	プラズマ処理や腐食性ガスを用いる装置のシール部	パーティクル発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材（2）	パーティクル発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材（2）	酸素プラズマ雰囲気のマイクロ波アッシング装置における相手材を石英とするシール部
最高連続使用温度（1）(℃）	160℃	200℃	200℃	200℃	200℃	200℃	200℃

注（１） 最高連続使用温度はあくまでも目安であり、使用される装置環境により変化する。
　（２） プラズマの発生エネルギーやエッチングガスの種類などにより、使用できないケースがあるので、相談のこと。
備 考 表中の数値はすべて実測値であり規格値ではない。