（ｄ）FLUORITZ

（甲）概　要
伴随着各种产业领域的技术革新，对橡胶密封材料的特性要求越来越严格。近年来出现了很多就连耐热性、耐化学品性如此优异的氟橡胶都无法使用的用途。
作为全氟橡胶（FFKM），FLUORITZ 因其化学稳定性优异而具有范围广阔而极度优秀的耐化学品性，同时即使在高温下使用也能发挥良好的密封性。

表 1. 2. 26-4　各种 FLUORITZ 的介绍

	FLUORITZ-SB	FLUORITZ-HR
等级	标准黑色	耐热
色调	黑	黑
硬度实测值（Shore A）	77	83
使用温度标准	0～200℃	0～300℃
特征	优秀的耐化学品性	优秀的耐热、耐化学品性
主要用途	半导体、LCD 相关 化学工业相关 电气电子相关	半导体、LCD 制造装置 (PE-CVD、LP-CVD、扩散炉等)

备 注　表中数值均为实测值，并非规格值。

表 1. 2. 26-5　FLUORITZ-SB 的耐化学品性

药液	条件	FLUORITZ-SB	标准氟橡胶
丁酮	RT×168ｈ	A	D
甲醇	RT×168ｈ	A	D
醋酸乙酯	RT×168ｈ	A	D
二丁醚	RT×168ｈ	A	A
氨水（30%）	40℃×168h	A	D
氢氧化钠（50%）	40℃×168h	A	A
盐酸（35%）	40℃×168h	A	B
硫酸（97%）	40℃×168h	A	A
硝酸（65%）	40℃×168h	A	C
氢氟酸（46%）	40℃×168h	A	A
磷酸（85%)	80℃×168h	A	－
醋酸	40℃×168h	A	D
双氧水（31%）	RT×168ｈ	A	A
乙醇胺	80℃×168h	A	溶解
PGMEA	RT×168h	A	D
N-甲基吡咯烷酮	80℃×168h	A	D

备 注　根据符合 JIS K 6258 标准的浸渍试验结果，A：体积变化率不到 5%，B：体积变化率 5～不到20%，
C：体积变化率 20～不到 50%，D：体积变化率 50% 以上。

图 1. 2. 38-1　FLUORITZ-HR 的压缩永久变形特性


※本数据为实测值，并非规格值。