（７）新华尔氟龙 PFA

在半导体制造工序中，以湿式处理为中心，大量使用了氟树脂产品。明显提高了 IC 的集成度，与此同时对于氟树脂的高品质化要求也日益增强。最近，开发出了抑制使用时的氟离子溶出的新型 PFA。表 1.1.14 中，记录了 PFA 成形管的溶出氟离子浓度的测定例。


＜技･材＞　表1.1.14　溶出氟离子浓度

単位：ppm
　 新华尔氟龙PFA 以往的PFA
原料颗粒 0.2＞ 1～3
成形品（管） 1.6 4.2
  • · 测定样品 原料颗粒
    成形管（切割为颗粒状）
  • · 测定方法
    离子抽出液：水＋甲醇＋TISAB（Ⅱ）[1：1：2] 20cm3
    向抽出液中投入约 10g 样品。在室温下放置 24 小时后，采用 F- 离子测定装置（OrionResearch 制 EXPANDABLE ION ANALYZER EA940）来测定氟离子浓度。

（８）含填充材料氟树脂
（ａ）填充材料的混合带来的物理性质改良
纯 PTFE 的耐磨损性及压缩强度、耐蠕变性等特性不足。为了改良这些特性，而掺入填充材料。根据用途，使用不同的填充材料。代表性的填充材料及其特点如表 1.1.15 所示。


＜技･材＞　表1.1.15　填充材料的种类与特点

填充材料的种类 填充材料识别符号 特点
玻璃纤维

15％…2K0
20％…2N0
25％…2T0

耐磨损性良好。
电气特性良好。
会被碱侵蚀。
不耐水中磨损。
玻璃纤维＋石墨td>

20％＋5％…2N1

耐蠕变性良好。
改善了滑动特性。
玻璃纤维+MoS2

15％＋5％…2K7

耐蠕变性、压缩强度良好。
改善了滑动特性。
电气绝缘性良好。
石墨

15％…1K0

滑动特性良好。
不会损伤软质对象材料。
青铜

60％…3M0

耐蠕变性、压缩强度良好。
热传导性良好。
青铜＋碳纤维

3U8

在油中的滑动特性良好。
碳、石墨

25％…6T0
33％…6P0

耐蠕变性、高温耐负荷性良好。
碳纤维

10％…8H0

水中的滑动特性良好。
耐蠕变性良好。
有机类填充材料

9A1
9A2
9B1

不会损伤软质对象材料。
稳定的滑动特性。
耐蠕变性、压缩特性良好。

＜技･材＞　表1.1.16　新型含填充材料 PTFE 的特性

备 注　1.本表中的值是本公司测定的值，不是规格值。
　　　　 2.与迄今为止的产品介绍、文献等的值有所不同，原因在于成形条件、测定方法的差异。


＜技・材＞　表1.1.17　含各种填充材料 PTFE 的特性一览表1)


（ｂ）滑动特性

＜技･材＞　图 1. 1. 19　摩擦系数与滑动速度4)


＜技･材＞　图 1. 1. 20　摩擦系数与负载4)


＜技･材＞　表1.1.18　以铝为对象材料时的摩擦磨损特性4)

引用文献　：　参照 1）～4）1.2 项末尾。

   

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