其他密封


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华尔卡产品编号
FB4060
产品名称
FLID BONDED GATE SEAL
形状
Bonded Seal
Bonded Seal
特点1
开关门用密封
特点2
稳定的安装性
特点3
不脱落、不弯曲
在库状况
订单生产品

规格尺寸
　
类型
压缩挤压

用途区分
开关门用
压力区分
真空
标准材质

无

标准外材质（可适应材料）

非标准材料依据材料选择基准

密封方向
平面 圆筒 圆筒活塞 圆筒棒
○ × × ×
尺寸
依据使用条件

■ 产品内容和主要用途

产品内容
烧结于Transfer Gate金属上，一体成形的门密封板。
主要用途
用于解决带O形圈型闸阀密封机构在半导体制造装置中使用时产生的O形圈密封材质的扭曲、断裂、发尘、脱落等问题。专用于路径装置腔室等的惰性气体环境。

■ 使用温度范围

橡胶材料 使用温度范围
FLID -5℃ ～ 200℃
橡胶材料一览

可使用温度依据材料选择基准。

■ 使用压力·压力方向·压力种类

压力 压力（附挡圈） 压力方向
- - 两压
-

压力种类
冲击·过冲·脉冲·真空		 真空

■ 适用运动以及冲程

固定用 ×
往复 ×
旋转 ×
螺旋状 ×
开闭 ○
滑动 ×
摇动 ×
冲动
依据使用条件

■ 流体·速度·PV值

液体 ○
气体 ○
粉体 ×
一般粉尘 ×
油膜 ×
速度
依据使用条件
PV值
依据使用条件

■ 润滑·安装性·抗滑动、抗压缩·偏离/倾斜、追随性

润滑
不要
安装性
优
抗滑动
抗压缩
高
偏离/倾斜
追随性
低～中


■ 截面尺寸·设计注意点

・截面尺寸


依据使用条件

・设计注意点

必须要压缩力以及紧固时对象面的游隙尺寸的设定值

■ 不适宜事例·对策

■ FAQ

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