（２）不同行业的用途例

行业领域 主　要　用　途　例
半导体 极高真空用驱动部密封　超高真空阀　直线、旋转引入器
气缸　泵　单结晶吸合装置　CVD 装置　蚀刻装置
蒸附装置　清洗装置　各种分析装置
真   空 超高真空阀　真空阀　驱动部密封　直线、旋转引入器
真空接头　试样传送机　机械手　消振接头
加速器、核聚变 超高真空阀　直线、旋转引入器　机器间连接　泵
带 RF 触点的接头　波导管　真空容器（升压器之间）
短路盘升降装置　中子入射装置
宇宙、航空 罗盘　储压器　泵　缓冲器
传动装置　机器间连接
能　源 阀　油量调整器　断路器　伸缩接头　消振
机械密封　管道　压力传感器　防尘盖
化学设备 伸缩接头　储压器　阀　热膨胀吸收接头
抗震用　机械密封　消振　泵
传动装置　气缸　压力传感器
炼　铁 伸缩接头　消振　辐射管　管道
储压器　阀　传动装置
车　辆 消振　燃料喷射装置　传动装置
储压器　泵


   

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