（３）产品群与应用产品

（ａ）V 型系列

对动态波纹管进行标准化，以伸缩量 10mm 为 1 个单位的产品。

（甲）制造范围及寿命

大小：内径 ø 8～内径 ø 210mm

材质：SUS304（标准 SUS316L）

寿命：见下表

（乙）特　点

・伸缩量大

・弹簧常数小

・寿命长

・无晶间渗透漏泄，最适用于超高真空

・由于带厚板法兰，因此容易操作

・为标准品，价格低

 

（丙）主要用途

・各种真空、半导体生产装置

・真空阀

・机械手

・直线、旋转引入器

・真空接头

・储压器

・传动装置

・泵

・气流调节器

・气缸

・压力传感器


（丁）标准规格

①V 型系列（基本形：附 Y 型终端部件）

 

 ②附组合法兰的波纹管

 

③附 JIS 真空法兰的波纹管

 

④附夹箍法兰的波纹管

 

标准规格
温 度 常 温
压 力 内 部 真 空
外部 大气压
材 质 波纹管   SUS304
其它 SUS304
漏泄量   1×10-9Pa･m3/sec以下
｛1×10-8atm･cc/sec以下｝
寿 命 1×104次

（ｂ）M 型系列

本动态波纹管采用独特设计、制造技术，优化了对波纹管产生的应力分布，降低了产生疲劳部分的应力，是前所未有的长寿命波纹管的标准化产品。

（甲）制造范围及寿命

大小：内径 ø 8～ø 50

材质：SUS316L

寿命：见下表。



备　注　超过 100% 使用时，以工作最小长度为基准，在延伸侧设定。

 

（乙）特　点

・寿命长（SUS316L 材料 5×106 次）　 ・弹簧常数小

・紧凑 　・最适用于超高真空

・伸缩量大

 

（丙）用　途

・真空机器
超真空阀、直线引入器、旋转引入器、真空开关、驱动部密封等

・半导体
超高、极高真空驱动部密封、波纹管泵、波纹管气缸、CVD 装置、蚀刻装置等

・核聚变加速器
波纹管泵、超高真空驱动部密封、附 RF 触点的波纹管等

・宇宙、航空
驱动部密封、传动装置、波纹管泵、储压器等

 

（丁）标准规格

压力 内部真空 外部大气压
温度 常温
材质 SUS316L
寿命 5×106次
漏泄量 1×10-10Pa.m3/sec以下

（ｃ）高压用 Ω 形动态波纹管

在核能发电厂的配管系列中，使用了许多阀。特别是一次系列配管中，由于有带放射性的高压冷却水的流动，所以全部使用了波纹管阀，以达到完全无漏泄的目的。
安装在该阀内的波纹管，承受因阀的开关而引起的变位和变动压力负载。
所以，耐久性和耐压性优异，而且在处理放射性流体时要求有较高的可靠性。
特别推荐在压力为 9.8MPa｛100kgf/cm2｝以上的条件下作为高压阀的密封。

（甲）制造范围及材质

大小：

公称 内径（mm） 外径（mm） 适合的杆径（mm）
HPB-024 24 52 22以下
HPB-030 30 58 28以下

材质：铬镍铁合金 718

 

（乙）特　点

・为了提高耐压性、耐变动压力性，在内部安装增强环，由这种独特的形状构成外压专用波纹管。

・由于以铬镍铁合金 718 为标准材料，因此抗腐蚀性、耐热性、耐久性优异。

・在压力为 9.8MPa｛100kgf/cm2｝以上的情况下，作为核能用高压阀的阀杆密封，具有许多实绩。

 

（丙）结　构


（ｄ）异形、方形动态波纹管

异形、方形动态波纹管，可按照符合需要的形状进行制作。加速器、核聚变装置中主要使用各种异形（环形、方形）波纹管。

 

（甲）特　点

①异形动态波纹管

・材质可任意选择

・弹簧常数能够变小

・寿命长

・齿数无限制

・超高真空性优异

②方形动态波纹管

・弹簧常数小

・伸缩量大

・耐真空性优异

 

（乙）结　构


（ｅ）吸收波动用储压器

华尔卡储压器因使用动态波纹管，故耐热性、抗药性、吸收波动性优异，弥补了以往产品的缺陷。

 

（甲）制造范围

安装法兰：10A 用～25A 用（也可对应非 JIS 标准）

压力：0.98MPa～3.92MPa（10kgf/cm2G～40kgf/cm2G）*

*未遵循高压气体保安法的规定。

 

（乙）特　点

・耐热性、抗药性优异。

・吸收波动性好。

・耐久性优异。

・容易施工。

 

（丙）结　构



   

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