（ｂ）高纯度橡胶烧结整体闸门密封 “VALQUA BONDED GATE SEAL”

（甲）概　要
它是将 VALQUA ARMOR 等级之一的耐等离子性高纯度氟橡胶（ULTIC ARMOR）以及耐磨损性高纯度氟橡胶（FLID）与 Transfer Gate 金属烧结并整体成形的闸门密封板，
是以彻底减少微粒发生量为目的而开发的产品，改善了使用传统 O 形圈时容易发生的密封材料扭曲、断裂、从安装槽中脱落等现象。
迄今为止，
・ULTIC ARMOR BONDED GATE SEAL
・FLID BONDED GATE SEAL
已经产品化，其特性如表 1.2.25-2 所示。

表 1. 2. 26-2　高纯度橡胶烧结整体闸门密封 “VALQUA BONDED GATE SEAL”

密封材质	密封材料颜色	主要用途	特　　长
ULTIC ARMOR	琥珀透明	CVD	・高纯度 ・无微粒 ・防止闸板金属与腔室金属接触 ・降低密封材料暴露于腐蚀流体的面积
FLID	黑	PVD、加载互锁真空室	・耐磨损性 ・防止闸板金属与腔室金属接触 ・降低密封材料暴露于腐蚀流体的面积